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要进行EBIC测试的样品必须是半导体材料且含有内电场，用于分离电子空穴对

通过测量，我们能得到PN结的位置、宽度，通过IV曲线研究来判定整流特性，可研究少数载流子的扩散长度，研究缺陷的位置，电子器件的失效分析。

例1：测试PN结位置，宽度，少子扩散长度

例2：测试半导体材料的位错密度，定量计算Si太阳能电池材料中的螺型位错。